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シリコンエピタキシャル成長のアプリケーション、トリクロロシラン精密気化供給装置 | TechnoBoundaryCo
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2025年
2025年
– date –
Precision Gas Mixer
計算のアップデート
Web page内にある「トリクロロシランの蒸気圧」の算出式を”NIST WebBook"から持ってきました。従来のものと結果はあまり変わりません。0℃から沸点まで使えるようです。 また、Cv値の計算スクリプトに不備があったようなので修正しました。
2025年6月25日
MR.CREAM
I💛Doll vol.73
今回もたくさんのご購入ありがとうございました。
2025年3月19日
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