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シリコンエピタキシャル成長のアプリケーション、トリクロロシラン精密気化供給装置 | TechnoBoundaryCo
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条件計算
条件計算
PGM運転条件設定
【PGM運転条件設定】
PGMの試験データをもとに計算します
従ってPGM推奨運転範囲外では誤差が大きくなります
凝縮温度(℃):
運転圧力(kPa(G)):
計算
リセット
トリクロロシランの蒸気圧計算(Antoine Equation)
トリクロロシランの蒸気圧計算(Antoine Equation)
温度 (℃):
計算
リセット
結果:
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