半導体関連装置– category –

Web page内にある「トリクロロシランの蒸気圧」の算出式を”NIST WebBook"から持ってきました。従来のものと結果はあまり変わりません。0℃から沸点まで使えるようです。 また、Cv値の計算スクリプトに不備があったようなので修正しました。 　

２０２３．７.１上海で開催されたセミコンチャイナに行ってきました。東横化学株式会社様の展示ブースにて、弊社で設計・供給している「PGM」の主構成部品である、蒸発器と凝縮器の原寸模型の展示がありました。

トリクロロシラン（以下TCS）は常温で液体で、危険物に該当します。消防法危険物第三類（自然発火性物質および禁水性物質 固体または液体）ということですが、当初、TCSそのものが該当するかは明記されていませんでした。 その後平成元年12月21日　消防危...

PGMを運用するにあたり、便利なスクリプトを埋め込みました 運転条件の確認や変更時の目安にご利用ください。 少し数字が合わない、等の御指摘を頂ければその情報で精度があげられますのでコメントを頂戴いたしたく！