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シリコンエピタキシャル成長のアプリケーション、トリクロロシラン精密気化供給装置 | TechnoBoundaryCo
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半導体関連装置
半導体関連装置
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半導体関連装置
Precision Gas Mixer
TRAP
Scrubber
半導体関連装置
TCSは危険物3類2種!
トリクロロシラン(以下TCS)は常温で液体で、危険物に該当します。消防法危険物第三類(自然発火性物質および禁水性物質 固体または液体)ということですが、当初、TCSそのものが該当するかは明記されていませんでした。 その後平成元年12月21日 消防危...
2023年6月7日
半導体関連装置
PGM運転条件設定用スクリプト
PGMを運用するにあたり、便利なスクリプトを埋め込みました 運転条件の確認や変更時の目安にご利用ください。 少し数字が合わない、等の御指摘を頂ければその情報で精度があげられますのでコメントを頂戴いたしたく!
2023年6月5日
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