TMGa 計算表
色付きの数値セルは入力欄です。温度は0.1℃刻み、H2吹込とTMGaは0.01刻みで変更できます。CFは固定値です。「リセット」で初期値に戻します。下の２つの表にあるTMGa濃度が同じになるように入力セルを変化させてください。まず右の表でEP成長条件を決めます。次に左の表でPGMの運転条件を決めます。
入力セル
入力セル（強調）
計算結果
| 温度 | 蒸気圧 |
| (℃) | P(kPa) |
| % | TMGa | H2 | Mix |
| CF |
| 運転圧力 | 凝縮温度 | TMGa濃度 |
| (kPa(G)) | (℃) | (%) |
| 吹込 | TMGa | TMGa/H2 | H2MFC | ||
| H2 LM | 濃度 | LM | gM | LM | 表示値 |
TMA 計算表
色付きの数値セルは入力欄です。温度は0.1℃刻み、H2吹込とTMAは0.01刻みで変更できます。CFは固定値です。「リセット」で初期値に戻します。下の２つの表にあるTMA濃度が同じになるように入力セルを変化させてください。まず右の表でEP成長条件を決めます。次に左の表でPGMの運転条件を決めます。
入力セル
入力セル（強調）
計算結果
| 温度 | 蒸気圧 |
| (℃) | P(Torr) |
| % | TMA | H2 | Mix |
| CF |
| 運転圧力 | 凝縮温度 | TMA濃度 |
| (kPa(G)) | (℃) | (%) |
| 吹込 | TMA | TMA/H2 | H2MFC | ||
| H2 LM | 濃度 | LM | gM | LM | 表示値 |